君特催化可提供电子级气体纯化设备和装置:如氮氢氧氩氦氖等气体纯化器,精度可达7N-9N;该系列气体纯化器广泛应用于半导体、LED/激光、太阳能光伏行业、光纤行业、气体行业、冷轧行业等。君特催化的气体纯化器稳定性高,技术可靠,具有较高的性价比。
详细参数:
名称 |
氮气纯化器 |
氩气/氦气
纯化器 |
二氧化碳纯化器 |
氢气纯化器 |
氧气纯化器 |
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型号 |
JTC-GN |
JTC-GAR/GHE |
JTC-GC |
JTC-GH |
JTC-GO |
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适用气体 |
N2 |
Ar/He |
CO2 |
H2 |
O2 |
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工艺 |
催化+吸附 |
吸附+Getter |
催化+吸附 |
吸附+Getter |
催化+吸附 |
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标准流量,Nm3/h |
10-20000 |
10-300 |
10-20000 |
10-300 |
10-10000 |
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出口杂质,ppb |
O2 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
— |
H2O |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CO |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CO2 |
<1 |
<1 |
— |
<1 |
<1 |
|
H2 |
<1 |
<1 |
<1 |
— |
<1 |
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NMHC |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CH4 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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N2 |
— |
<1 |
— |
<1 |
— |
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Particles |
≤10pcs/ m3,≥0.003μm |